石英震盪片

石英震盪片

裝置在膜厚監控器中,用以偵測鍍膜厚度。
  • Crystal 6MHZ Gold
  • Crystal 6MHZ Alloy
詳細資訊

石英經過擠壓後,就會像電池一樣產生電流(俗稱壓電性),相反的,如果一個電池接到壓電晶體上,晶體就會壓縮或伸展,如果將電流連續不斷地快速開關,晶體就會震動。
 

如果在晶體的表面上鍍一層薄膜,則晶體的震動就會減弱,而且這種震動或頻率的減少,是由薄膜的厚度和密度決定的,利用非常精密的電子設備,每秒鐘可能多少次震動,從而實現對晶體鍍膜厚度和鄰近基體薄膜厚度的監控。
 

三達光學提供兩種標準電極材料:鍍金和合金。
 

鍍金是最廣泛使用的傳統材料,它具有低接觸電阻,高化學穩定性且易於沉積。鍍金的石英振盪片最適合用於低應力材料,如金、銀、銅的膜厚控制。

合金的石英震盪片適用於高應力材料的鍍膜監控,如SiO、SiO2、MgF2和其他氧化物,這些高應力膜層在製程中,由於高張力或堆積的引力,使基片變形而導致跳頻,合金電極可有效分散應力,使石英震盪片能更穩定的震動,且不影響其使用壽命。
 

電極材料 優點 缺點
鍍金
(標準型)
1. 不會氧化
2. 保存期限較長
3. 最為廣泛運用,適用各種材料鍍膜製程。
1. 在部分應用中,使用壽命比合金和銀更短。

合金
(高應力材料鍍膜)

1. 針對光學薄膜及半導體所使用的高應力材料有較長的使用壽命。
2. 和鍍金及銀相比,是最適合高應力材料的石英震盪片。
1. 合金電極會有氧化的可能,且保存期限比鍍金的短。
2. 針對普通應力的材料鍍膜並無特別優勢 (高應力材料以外的材料)
 

 

出自對於品質的要求,三達光學的石英震盪片在出廠前皆受過檢測,確保每個震盪片都能良好運作,替您的鍍膜品質把關。

詳細關於石英震盪片的運作原理,使用注意事項和檢測項目可參考以下。


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