各品牌電子槍

各品牌電子槍

依據您的需求,提供不同品牌之電子槍頭。
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在電子束(E-beam/E-gun)蒸鍍中,利用電子槍產生的電子束轟擊靶材,使靶材熔化,進而蒸發後附著到待鍍基板上。
早期蒸鍍大多使用熱電阻加熱法,但靶材和坩鍋與加熱源直接接觸,能蒸鍍的材料種類有限,靶材耗損量大,得到的薄膜純度也不足,而電子束蒸鍍法則可有效地改善熱蒸鍍法的限制。電子束蒸鍍法是利用高能電子束的動能轉換為熔化靶材的熱能,並利用靶材在接近熔點時的飽和蒸汽壓進行鍍膜。此法除了有很好的熱轉換效率外,蒸鍍速率亦能精準控制,靶材種類選擇的限制較少,除部分化合物及合金外,多數材料皆能蒸鍍。

 
電子槍產生的電子束經270度偏向發射到蒸發物的表面,由電磁線圈組合成的掃描裝置進行蒸發掃描。電子槍本體構造堅固,容易保養。採用電子槍本體與坩鍋部分離技術,可依據用途自行組合。




在鍍膜過程中,須注意電子槍頭的磁場設定,若設定錯誤,非但無法擊中靶材,甚至有可能打偏至坩堝,導致坩堝破損和鍍膜成效不佳。

三達光學提供各大廠牌如ULVAC、TELEMARK、TEMESCAL、JOEL和PLASMATECH...等,全系列電子槍均可製作。此外,電子槍的內部零件亦有販售。如有相關問題欲詢問,也歡迎來電本司或留言給我們。