鎢的物理特徵非常強,尤其是熔點高達
用於熱阻式蒸鍍的加熱器或乘載器依形狀可分為絲型(filament)、舟型、籃型與坩堝型,材質包括鎢、鉬、鉭、石墨及氧化鋁…等,主要取決待鍍材料的反應特性、材料裝填需求…等。
鎢舟便是作為蒸鍍材料的載具,將裝有材料的鎢舟放置於電極中間形成導電,通電後使鎢舟發熱,將材料熔化至蒸發,氣態的材料分子因加溫而加速,在基板上凝結沉積成薄膜。(如下圖示)
為確保鎢舟的使用壽命及良好的鍍膜成果,待鍍材料的熔點不可以超過鎢舟,建議以1500℃左右為佳。由於氧化物材料的熔點普遍較高,因此,鎢舟大多用於金屬材料的蒸鍍。
鎢舟有許多尺寸,您可以依照製程的需要去挑選合適的鎢舟。(例如:215,2為厚度
客製品須提供需求規格,以利後續評估。
受限於材質特性, 鎢舟的深度一般無法超過8mm,過度彎折會使其斷裂,故若需要盒型的蒸鍍皿,一般會使用鉬來做材料。
鉬的熔點在2600
鉬可以彎折成較深的盒型,亦可配合製成需求製作上蓋。我們可依照您的需求,提供建議以及客製化產品。
使用過程中,難免因為某些因素,導致蒸發皿斷裂,原因可參考三達光學網站中的常見問題,或者致電本司專員詢問。